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美濃窯業は、常圧焼結炭化ホウ素セラミックスに卑金属接合材を用いることで1000℃以下の低温で接合可能な省エネ接合技術を開発しました。接合界面の制御により、炭化ホウ素セラミックス単体に近い十分な強度を実現しました。


炭化ホウ素セラミックス接合体
接合界面微構造

接合界面の反応及び、ヘアークラックの奥まで接合材が 浸透する「ナノアンカー効果」で強固な接合を実現しました。



炭化ホウ素セラミックス接合体試作例
炭化ホウ素セラミックス(B4C)本来の特徴である軽量および 高剛性に加え、省エネ接合技術による大型複雑形状化を実現 させることで、高速可動が要求される半導体製造装置分野などへの展開を期待しています。




接合の信頼性に関するシミュレーション
有限要素法を用いたシミュレーションを併用することで、より信頼性の高い接合技術の開発を検討しています。

常圧焼結炭化ホウ素接合体例及び外力が加わった時の
応力解析シミュレーション結果例。




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  〒509-6121 岐阜県瑞浪市寺河戸町719番地  TEL:0572-68-3148  FAX:0572-68-2100

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